比表面積は、通常ガス吸着等温線からBET理論(多分子層吸着理論)により解析される。BET理論は固体表面の強い吸着サイトから吸着が始まり、圧力の上昇に伴い、その次に強い吸着サイトに吸着していく。同時に2層目や3層目吸着が起こることをモデルとしている。
BET理論は、Langmuirの単分子層吸着理論を多分子層吸着理論に拡張し得られた。
この理論はII・IV型等温線の場合、相対圧0.05~0.35の間でよく成り立ち、その間のデータを最小二乗法し、傾きと切片より単分子層吸着量(Vm)とCパラメータを求める。Cパラメータは分子の吸着力を示しその値が正になるように最小二乗法しなければならない。
このVmと吸着断面積(σ)より比表面積が求められる。