到達真空度 How to achieve good ultimate pressure in the sample cell

ミクロ孔の解析や表面分析において、超高真空下での吸着等温線測定の重要性が高くなっている。現在、ターボ分子ポンプに代表されるように、クリーンな真空を得ることは技術的に可能である。しかし、定容量法ガス吸着装置は複数のバルブと配管・ジョイントを有する為、サンプル部を高真空に到達することは困難である。下図に電磁弁と空気作動弁の放出ガスの違いを示す。電磁弁はシールとしてゴム材を用いるため、それからの放出ガスが顕著であることが分かる。

BELSORPシリーズは、空気作動弁と高真空排気システムを組み合わせ、内部放出ガスを極限まで下げることに成功した。この高品質の部品採用により、極低圧における吸着等温線測定精度が高まり、ミクロ孔解析の信頼性が高まった。